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D06-先进微电子与光电子材料

D06-Advanced Microelectronic and Optoelectronic Materials

 征文主题: Si、Ge、SOI、GOI、SiC和化合物半导体等衬底材料;用于集成电路和光电器件制造的高-k/金属栅叠层、Low-k材料、GeSi外延层、GeSn外延层、PCRAM存储材料、RRAM介质材料、STT-MRAM用磁性薄膜等新型薄膜材料;光刻胶、DSA、各类CVD和ALD前驱体、CMP抛光材料、工艺化学品、靶材等集成电路制造工艺材料;新型显示材料;先进封装材料;新型二维材料;碳纳米管,石墨烯等碳基功能材料;材料检测技术与方法;材料设计理论与计算模拟。

 Main Topics: 

       Substrate materials such as Si, Ge, SOI, GOI, SiC and compound semiconductors;
      High-k, Low-k, GeSi, GeSn, PCRAM, RRAM, STT-MRAM, and other materials used in integrated circuits and optoelectronic devices; 
       Photoresists, DSA, CVD and ALD precursors, CMP materials, process chemicals and targets for integrated circuit fabrication and manufacturing;

        New display materials;
        Carbon nanotubes, graphene and other carbon based functional materials;     
        Advanced packaging materials; 

        Novel two dimensional materials; 
        Carbon nanotubes, graphene and other carbon based functional materials;

        Materials characterization technology and methods;
        Materials design theory and simulation.


 分会主席:

                        中国科学院上海微系统与信息技术研究所
            汪正平        香港中文大学  
            杨德仁        浙江大学      
            林庆煌        ASML
            赵超            中国科学院微电子研究所


 承办单位: 成电路材料和零部件产业技术创新战略联盟

 支持单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所


 论文出版: 由分会统一安排,推荐优秀论文在Journal of Materials Science: Materials in Electronics(SCI收录)出版;作者也可根据自身情况选择由大会统一出版。
有出版要求的作者,请务必在提交全文后邮件通知大会联系人。


 联系方式: 宋三年   中国科学院上海微系统与信息技术研究所

                       13818144065,   songsannian@mail.sim.ac.cn


分会邀请报告

  康晋锋 -- 北京大学 -- 新型HfO2铁电效应机理与器件特性
  宋志棠
-- 中科院上海微系统与信息技术研究所 -- 相变存储机理与芯片研制
  缪向水 
-- 华中科技大学 -- 忆阻器材料与器件

  于洪宇 -- 南方科技大学 -- GaN与Ga2O3在RF与功率器件方面的应用
  刘志权 -- 中国科学院深圳先进技术研究院 -- 锡基封装材料的互连机理与服役可靠性 
  祁   楠 -- 中国科学院半导体所 -- CMOS高速电路与硅基光电子集成技术-现在和未来 
  彭   谦 -- 中国科学院化学研究所 -- 新型OLED蓝光材料研发进展
  赵德刚 -- 中国科学院半导体研究所 -- GaN基材料与光电子器件
  王欣然 -- 南京大学 -- Two-dimensional organic-inorganic hybrid systems
  朱文娟--美国伊利诺伊斯香槟分校--Nanoscale Devices based on Two-dimensional Materials and Ferroelectric Materials
  孟国文--中国科学院固体物理研究所--基于多孔模板法可控构筑一维分枝功能纳米结构
  郭   霞--北京邮电大学--CVD方法生长石墨烯材料的原位氧化及其在光电探测器上应用
  李风煜--暨南大学--打印组装柔性多结构传感器与复杂生物信息分析